医疗机构的灭菌方式包括高温灭菌（压力蒸汽）和低温灭菌（环氧乙烷和过氧化氢），耐湿热的物品首选压力蒸汽灭菌，不耐湿热的物品可选择环氧乙烷和过氧化氢灭菌。
过氧化氢灭菌主要是通过过氧化氢本身的强氧化性来杀灭微生物。
氧化反应的本质是指原子失去电子
过氧化氢灭菌前需要保证器械的绝对干燥，对于器械的复杂度和管腔长度有限制（具体要求可参照灭菌器说明书进行使用），且对于器械的包装材料有特殊要求，需要使用特卫强材料或经验证兼容的材料。由于过氧化氢具有强氧化性，对一些材料会造成腐蚀，过氧化氢的残留对皮肤具有腐蚀性，但分解后的过氧化氢对环境安全。
等离子体是物质的第四种存在状态，主要作用是分解残留的过氧化氢。
过氧化氢等离子灭菌技术示意图
通常而言，汽化的过氧化氢的化学变化过程包括：
（1）吸收：过氧化氢穿透进入器械或包裹中
（2）吸附：过氧化氢分子在器械盒包裹表面聚集
（3）分解：接触物品后，过氧化氢迅速分解为水和氧气 ，2H2O2→2H2O+O2
（4）冷凝：过氧化氢从气态凝结为液态
过氧化氢等离子低温灭菌风险及措施
过氧化氢适合于不耐湿热精密器械的终末灭菌，调查数据显示国内约83%的医院使用过氧化氢等离子低温灭菌设备。
目前临床的使用现状包括：灭菌器自身故障；电源故障；清洗不彻底；器械物品未完全干燥；管腔结构器械；包装不当；器械物品装载不当；生物指示剂与机器不匹配；环境因素；人为因素。
调查结果显示84%灭菌失败发生在真空期，过氧化氢等离子低温灭菌关键参数包括压力、浓度及等离子功率，应关注灭菌剂浓度，灭菌期间舱内过氧化氢浓度达到合格对灭菌质量非常关键。等离子主要作用是分解残留的过氧化氢。
过氧化氢灭菌的潜在风险体现在一旦过氧化氢浓度降低或不足、材料不兼容、监测体系不完善等出现时设备并不会报警，因此要更加关注此类问题。
在实际使用过程中应健全管理、规范流程、加强培训，遵循器械产品说明书和设备使用说明书的要求，正确的进行物品装载。利用物理监测、化学监测和生物监测保障灭菌质量。
